В областта на производството на полупроводникови или течни кристални дисплеи интеграцията на устройствата се е увеличила през последните години. При производството на устройство, наречено много голяма мащабна интегрална схема, се изисква фин модел от 1 микрон или по-малко. При такъв производствен процес финият прах или много малко количество газови примеси се отлагат или адсорбират върху модела на окабеляване, което води до повреда на веригата. Следователно е необходимо както реакционният газ, така и газът носител с висока чистота, т.е. само няколко частици и газови примеси, да могат да съществуват в тези газове. Поради тази причина е необходимо капилярна тръба от неръждаема стомана или член да използва такъв газ с висока чистота, а вътрешната му повърхност се използва като замърсител за изпускане на замърсители, само с минимално количество частици и газ. Освен инертните газове като азот и аргон, много газове, наречени специални газове, се използват и като газове за производство на полупроводници. Примерите за специализирани газове включват корозивни газове като хлор, водороден хлорид и водороден бромид, и химически нестабилни газове като силаж. Първата изисква устойчивост на газова корозия, докато последната изисква некаталитична производителност.
Досега, за да се намали отлагането или адсорбцията на прах или вода, вътрешната повърхност на частта, използвана за производство на полупроводниковия газ, е била загладена, докато грапавостта на повърхността му Rmax стане 1 микрона или по-малко. Студен чертеж, механично полиране, химическо полиране, полиране, или комбинация от тях могат да се използват като метод за изглаждане на вътрешната повърхност или части от тръбата. Въпреки това, силно гладък материал със стойност 1 микрон или по-малко се получава главно чрез електролитно полиране. Вътрешната повърхност на тръбата или подобна се изглажда, след което се почиства с вода с висока чистота и се изсушава с газ с висока чистота, за да се получи крайният продукт.
Заваряването обикновено се използва при заваряване. Това е така, защото заваряването може да осигури висока якост и добра хермеизъм на въздуха на тръбопровода. При полагането на тръбопроводи, инертен газ с висока чистота, обикновено аргон, се използва като защитен газ, а вътрешната му повърхност се свързва с газ с висока чистота през тръбопровода, за да се избегне нагряването на част от замърсяването и окисляването до високи температури, колкото е възможно. Освен това при полагането на тръбопровода тръбопроводът се почиства с аргон с висока чистота или азот за отстраняване на тези частици и все още остава в тръбата. Когато тръбопроводът е дълъг и сложен, като тръбопровод, отнема няколко дни до няколко седмици. Напоследък силно се изисква намаляване на разходите в изграждането на завод за производство на полупроводникови продукти и ранната експлоатация на завода. За да се изпълнят тези изисквания, сега е необходимо да се съкрати времето за почистване.
В допълнение към горните свойства, членовете на тръбата и газ с висока чистота трябва да имат възможности за заваряване, съвместната площ, необходима за механични уплътнения, и износоустойчивост; когато части като ставите са машинно машинно, се изисква слабост на Мах. От друга страна, е било известно, че специални газове с устойчивост на корозия и некаталитични свойства, които се изискват за производство на полупроводникови тръби или подобни газове, могат да бъдат подобрени чрез нагряване на повърхността на неръждаема стомана по такъв начин Атмосфера, в такава атмосфера, частичното налягане на кислорода се контролира. Заслужава да се отбележи, че обективното вещество на тръбопровода се отчита като SUS 316L неръждаема стомана в тази литература.
Горепосочената изисквана устойчивост на корозия и некаталитична производителност са не само за газопроводите. Същото търсене е направено и от неръждаема стомана, използвана в различни съоръжения за производство на полупроводникови, един от които има фина обработка на вафли. Аустенитна неръждаема стомана, по-специално, SUS 316L тип се използва главно като материал за тръби и други членове на оборудването. Японската патентна публикация Kokai No. 161145/1988 разкрива нестандартна високочиста аустенитна неръждаема стомана от стоманени тръби, използвани в чисти помещения. Неметалните включвания ограничават намаляването на съдържанието на манган, силиций, алуминий, и кислород, като по този начин намаляват генерирането на частици от вътрешната повърхност на тръбопровода.
Освен това Япония публикува Патентна публикация No. 198463, 1989/, която разкрива член от неръждаема стомана за оборудване за производствени полупроводници. Тези членове окисляват газа след електрохимично полиране на неръждаема стомана. При определени условия върху него се образува оксиден слой с дебелина от 100 до 500 ангстрома и се загрява по такъв начин, че броят на атомите Ni във външната част да е Пропорцион